這個(gè)光刻工藝,每年可為面板產(chǎn)業(yè)節(jié)約電費(fèi)40億元
摘要:記者1月16日從中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院獲悉,該院成功研制了用于微電子光刻的2-12英寸UVLED平行光曝光模組及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備的5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光源模組系列產(chǎn)品。 據(jù)中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)
閱讀:13042017年01月17日 08:59:11
