藍寶石由于具有與GaN大體匹配的晶格，以及與同質襯底相比的成本效益，是
確定藍寶石材料的質量，以及是否達到LED應用的要求，乃是整個制造價值鏈不可缺少的組成部分。評估開盒即用晶片質量方法之一的一種參照測試方法稱為腐蝕坑密度（etch pit density，簡稱EPD）測試法。EPD測量值一般用于確定襯底上外延層的質量。近來，LED行業已將EPD（腐蝕坑密度法）用于評估藍寶石襯底的質量，以及其生產優質LED的適用性。
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