近日，海目星攜手福州大學成功研制出國內首款晶圓級Micro LED芯片非接觸電致發光檢測工程樣機FED-NCEL，有效解決Micro LED行業共性檢測技術問題，填補了行業關鍵領域空白，引領我國高速高精半導體顯示行業邁向高質量發展新階段。
2015年開始，福州大學吳朝興教授團隊開展LED非接觸電致發光原理研究，隨后提出Micro LED芯片的無接觸電致發光檢測方案，即在外部檢測電極與Micro LED芯片之間不接觸的情況下實現LED芯片的電致發光。在該模式中，外部電極不是為LED注入載流子，而是用于形成垂直于LED多量子阱層的電場，從而 “隔空”點亮LED芯片。
這種檢測方法既避免了傳統檢測方法在檢測過程中對Micro LED芯片造成的物理性損壞，又避免了光致發光檢測造成的芯片良品率“虛高”的現象。除此之外，還能避免自動光學檢測在檢測過程中將表面形貌完好但無法發光的Micro LED芯片誤判為正常芯片的情況。
2024年，海目星攜手福州大學吳朝興教授團隊，開展復雜電磁環境中的“機械-電氣-發光-采集”功能模組的設計與整合，以及控制與光電采集信號的同步，成功研制晶圓級Micro LED芯片的非接觸電致發光檢測工程樣機FED-NCEL，突破產業化“最后一公里”。
基于該樣機的研發成果，可對紅、綠、藍Micro LED外延片、晶圓（COW）以及轉移到臨時載板的芯片（COC）進行無接觸電致發光檢測。
樣機高精度、高穩定性、高效率的技術特點，極大提升了工藝良率水平，降低制造成本，為我國Micro LED產業提供了本土化的解決方案，以高質量創新助推行業躍進。
■ 檢測實例：
紅光COC氮化鎵Micro LED芯片檢測
紅、綠、藍COW氮化鎵Micro LED芯片檢測
由圖可見，晶圓級Micro LED芯片的非接觸電致發光檢測不受芯片位置影響，可以較好地隔空點亮芯片。
據了解，海目星身為新型顯示產業鏈上的領先企業，不斷在全球賽道中搶占技術高地，推動產業轉型升級。2024年7月，海目星與福州大學合資成立深圳海納半導體裝備有限公司，聚焦各類新型顯示及第三代半導體檢量測設備，為提升行業良率提供高速高精的解決方案。今年4月，海目星還與閩都創新實驗室正式成立“半導體檢量測裝備研發中心”，進一步深化產學研融合，賦能半導體顯示產業創新發展。
海目星、閩都創新實驗室成立研發中心
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