引言
有機(jī)電致發(fā)光（OEL）器件由于其在平板顯示中的良好應(yīng)用前景而受到廣泛關(guān)注。特別是80年代Tang.C.W報(bào)道了兩層的純化小分子薄膜高效率電致發(fā)光有機(jī)二極管以及1990年Burroughes報(bào)道了聚合物電致發(fā)光后，有機(jī)薄膜電致發(fā)光器件的研究迅速發(fā)展。但是一般的有機(jī)發(fā)光材料具有很寬的發(fā)光譜帶，譜線的半寬度約100nm，難以獲得高色純度的發(fā)光。想要獲得飽和度很高的全色顯示，可以通過(guò)濾色鏡，也可以摻雜窄帶發(fā)光材料并保證寬帶發(fā)光材料輻射的能量有效地傳遞給它，或者采用光學(xué)微腔器件，引入光學(xué)微腔，可以獲得單色性很好的發(fā)光，而且通過(guò)合理設(shè)計(jì)可以控制發(fā)射波長(zhǎng)。1992年Yokoyama提出了用平面微腔結(jié)構(gòu)來(lái)改變有機(jī)電致發(fā)光薄膜的發(fā)光光譜，窄化光譜寬度，自此有了很多微腔有機(jī)發(fā)光的研究。
近年來(lái)，微腔有機(jī)電致發(fā)光二極管被廣泛地用在平板顯示和光互連上，因此，發(fā)光波長(zhǎng)可調(diào)的微腔發(fā)光管無(wú)疑在這些應(yīng)用中有誘人的應(yīng)用前景。諧振波長(zhǎng)是由微腔的光學(xué)厚度決定的，改變折射率或者腔長(zhǎng)，都可以實(shí)現(xiàn)發(fā)光波長(zhǎng)調(diào)諧，但是前者的調(diào)諧范圍很小。本文提出了一種新的基于MEMS（Micro Electro Mechanical System）空氣腔，通過(guò)靜電力改變其腔長(zhǎng)，而獲得寬波段連續(xù)可調(diào)的微腔電致發(fā)光二極管，對(duì)所設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了模擬計(jì)算，并作了分析和論證
原理
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